它是光刻机芯片制造的核心设备之一。目前有生产用的光刻机,LED制造用的光刻机,封装用的光刻机。掩模光刻机采用类似于照片印刷的技术,然后通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。
光刻机在加工芯片的过程中,通过一系列光源能量和形状控制手段,使光束透过带有电路图的掩模,通过物镜补偿各种光学误差,按比例缩小电路图,映射到硅片上,再用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
光刻机也是芯片行业最有价值、技术难度最大的机器。制造一台高端光刻机需要上亿元。
审计姚远
标签:硅片电路光刻机
它是光刻机芯片制造的核心设备之一。目前有生产用的光刻机,LED制造用的光刻机,封装用的光刻机。掩模光刻机采用类似于照片印刷的技术,然后通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。
光刻机在加工芯片的过程中,通过一系列光源能量和形状控制手段,使光束透过带有电路图的掩模,通过物镜补偿各种光学误差,按比例缩小电路图,映射到硅片上,再用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
光刻机也是芯片行业最有价值、技术难度最大的机器。制造一台高端光刻机需要上亿元。
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