什么是导电膜？导电膜是具有导电功能的薄膜。导电膜的带电载流子在传输过程中被表面和界面散射。当薄膜的厚度与电子的自由程相当时，对表面和界面的影响将变得显著。这种现象被称为薄膜的尺寸效应。相当于载流子自由程的减小，所以薄膜的电导率小于同种材料的体。
什么导电膜的用途是什么？导电膜的电荷载流子在输运过程中被表面和界面散射。当薄膜的厚度与电子的自由程相当时，对表面和界面的影响将变得显著。这种现象被称为薄膜的尺寸效应。相当于载流子自由程的减小，所以薄膜的电导率小于同种材料的体。由于制备技术的不完善，薄膜中的缺陷浓度通常较高，主要缺陷有杂质、空位、间隙原子、位错、晶界、表面和界面的吸附和偏析等。
导电膜的发展现状近年来，国内外研究人员对低温制备的设备和技术、薄膜的表面改性、多层膜的设计和制备技术进行了深入的研究。例如，吴文法等人用射频磁控溅射工艺在未加热的聚碳酸酯基片上制备了厚度为250毫米、电阻率为62(cm)、透过率为74% ~ 90%的聚碳酸酯。Park Sung Kyu等人通过射频磁控溅射工艺在低温聚合物PES上制备了110nmITO。方块电阻20O/透过率80%，但是表面粗糙度大。David等，法国，用In-Sn合金靶在100下沉积在聚合物上的ITO膜，透过率为85%，电阻率~ 0.003cm，表面粗糙度为15-50。达尔。美国KIM用直接金属离子束沉积法(DMIBD)在70制备了ITO薄膜，最高透过率为85%，最低电阻率为4。此外，一些研究人员利用脉冲激光沉积(PLD)、电子束热蒸发和金属离子辅助溅射在低温甚至室温下制备高质量的塑料基膜。
我国贾永新在150衬底上制备了透过率约为80%的ITO薄膜，但电阻和表面特性未见报道。近年来，用微波等离子体辅助方法在120的衬底上沉积的李玉峰薄膜透过率大于85%，但方块电阻大于100O/，表面特性未见报道。马进等在80-100下，在塑料基底上制备了透过率大于84%，电阻率为0.001的薄膜。
综上所述，国内对低温尤其是室温下制备ITO薄膜的研究还不够充分和全面；而且研究和制备方法比较简单，和国外差距比较大。近年来，国外特别是日本和韩国对低温沉积技术、薄膜生长机理和薄膜表面改性进行了深入研究。在保证不损伤薄膜衬底的条件下，低温甚至室温下制备了薄膜电阻率低于5cm、透过率高于85%、表面粗糙度小于2nm的ITO薄膜。
标签：表面薄膜低温