半导体废气治理在哪（半导体废气处理设备scrubber）-全百科

本篇目录：

1、半导体厂废气处理是哪个部门分管2、请问半导体工艺废气如何处理?3、酸碱废气该怎么做处理?4、半导体工艺废气如何高效处理?

中文：厂务英文：Facility 但是EHS也会介入监督。

您问的是工厂环安部由哪个部门分管工厂环安部由安环部分管。安环部门是指企业中负责环保和安全的部门。

半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

根据苏州安峰环保科技有限公司官网可知电子半导体生产车间喷涂工艺会产生废气，也称电子喷涂废气。喷涂废气主要成份有甲苯、二甲苯等有机废气，油漆味主要成分也含有甲苯，所以会有油漆味。

医药行业：如制药厂、医院等。纺织行业：如纺织厂、印染厂等。废气处理设备根据不同行业的排放气体组成和浓度选择不同的技术，比如活性炭吸附、催化氧化、湿法脱硫等。

对于含氟废水，主要是往污水中加入钙盐，钙盐可以跟水中氟离子形成CaF2，再加上混凝剂辅助就可以去除污水中的氟离子，这就是常说的化学沉降法。

油漆味主要成分也含有甲苯，所以会有油漆味。喷涂废气挥发出来后形成VOCs，产生光化学反应形成雾霾，破坏臭氧层，对人体和大气造成危害。因此，电子喷涂废气处理是环评要求重点，也是电子半导体企业必须要达标排放的废气处理要求。

工业废气由于生产的工艺不同，产生的污染物种类不同，不同污染物种类应采用不同的处理工艺。有机废气（1）主要来源：工业生产中会产生各种有机物废气，主要包括各种烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类等。

考虑实验室的固有特性，高效过滤、湿式化学、燃烧法不适用，多采用活性炭、喷淋、光催化的废气处理工艺。

1、实验产生的酸碱废液处理方法有盐析循环利用法、焙烧法、化学沉淀法。盐析循环利用法：盐析是利用大量饱和盐水来沉淀废酸中几乎所有的有机杂质。但该方法能产生盐酸，影响废酸中硫酸的回收利用。

2、液体吸收法液体吸收一般包括水洗法和碱液中和法。碱液吸收常用的吸收剂有10%的Na2CO4%~6%的NaOH和NH3等的水溶液。液体吸收法所采用废气处理设备有：洗涤塔、泡沫塔、填料塔、斜孔板塔、湍球塔等。

3、万川环保酸碱废气处理塔由喷淋系统、填料层、除雾装置、观检窗等组成，酸碱废气在风机的作用下进入塔体。经过填料层，喷淋装置喷出的处理药剂在填料层形成液膜，废气与液膜接触发生化学反应。

4、因实验室废气含有酸碱和vocs废气，一般需要先通过净化塔酸碱中和去除酸碱废气，在通过光氧催化和活性炭吸附去除有机废气，具体要根据实验室废气的种类、浓度、风量来选择高效、经济的废气处理方法。无机废气。

5、酸碱中和法酸碱中和法通常应用于酸碱性废气的处理，酸碱废气洗涤塔是利用酸碱中和原理，酸性（碱性）废气与喷淋碱液（酸液）中和反应，将气态污染物转化为盐类，随污水排入到污水处理系统中处理。

1、油漆味主要成分也含有甲苯，所以会有油漆味。喷涂废气挥发出来后形成VOCs，产生光化学反应形成雾霾，破坏臭氧层，对人体和大气造成危害。因此，电子喷涂废气处理是环评要求重点，也是电子半导体企业必须要达标排放的废气处理要求。

2、湿法处理：煅烧废气的治理偏钛酸锻烧时废气的特点是具有一定的温度、湿含量较大、有酸雾和硫氧化物、钛白粉粉尘、水蒸汽、不凝性气体等，但排放速度和流量比较均匀，不像酸解废气集中在数分钟内猛烈排出。

3、工业废气由于生产的工艺不同，产生的污染物种类不同，不同污染物种类应采用不同的处理工艺。有机废气（1）主要来源：工业生产中会产生各种有机物废气，主要包括各种烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类等。

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