电涡流传感器的工作原理当传感器系统的电源接通时，前置放大器中会产生一个高频信号，通过电缆送到探头的头部，在头部周围会产生一个交变磁场H1。如果在磁场H1的范围附近没有金属导体，发射到这个范围的能量就会被释放。另一方面，如果金属导体接近探头，交变磁场H1将在导体表面产生涡流场，这也将产生与H1方向相反的交变磁场H2。
由于H2的反作用，探头线圈中高频电流的幅值和相位会发生变化，即线圈的有效阻抗会发生变化。这种变化与涡流效应和静磁效应有关(与电导率、磁导率、几何形状、线圈几何参数、激励电流频率以及线圈与金属导体之间的距离有关)。
假设金属导体是均匀的，其性能是线性的、各向同性的，则可以描述线圈——金属导体系统的磁导率U、电导率、尺寸因子R、线圈与金属导体之间的距离、线圈激励电流I和频率。所以线圈的阻抗可以用函数Z=F(u，，r，，I，)来表示。
如果U、、R、I和被控制为常数，则阻抗Z变成距离的单值函数。从麦克斯韦公式可以发现，这个函数是一个非线性函数，它的曲线是一个“S”型曲线，在一定范围内可以近似为线性函数。
线圈阻抗z的变化，即头部线圈与金属导体之间距离的变化，通过前置放大器电子电路的处理，转换成电压或电流的变化。输出信号随探头与被测物体表面的距离而变化，电涡流传感器就是基于这一原理来测量金属物体的位移、振动等参数。
一般来说，传感器线圈的阻抗、电感和品质因数的变化与导体的几何形状、电导率和磁导率有关。它还与线圈的几何参数、电流的频率以及线圈与被测导体之间的距离有关。
如果控制上述参数中的一个参数变化，而其他参数保持不变，那么就可以组成各种测量位移、温度和硬度的传感器。
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